退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响

• 作 者: 郭杰 普朝光 杨明珠 王静宇 阚家德 杨宇
• 机 构: 云南大学材料科学与工程系,昆明物理研究所,云南大学材料科学与工程系
• 出 处: 红外技术
• 发表日期: 2003年4期
• 关键词: 铁电薄膜 钛酸锶钡 退火 X射线衍射 BST BST annealing X rays diffraction

用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用改进的Sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜,然后进一步对薄膜进行退火实验:对(110)方向生长BST薄膜在550～750℃进行恒温退火.X射线衍射分析表明:退火温度在650℃以上时,BST薄膜转变为较为完整的ABO3型钙钛矿晶体结构,更高的退火温度将提高晶体的取向度.