【摘 要】
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空气折射率的测量及补偿效果在高精度激光干涉测量中起着“瓶颈”作用。分析了空气折射率的补偿原理 ,研究了用预抽气真空腔测量和补偿空气折射率的测量原理、方法及装置 ,分
【机 构】
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北京理工大学机电工程学院!北京100081,天津大学精密仪器及电子工程学院!天津300072
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空气折射率的测量及补偿效果在高精度激光干涉测量中起着“瓶颈”作用。分析了空气折射率的补偿原理 ,研究了用预抽气真空腔测量和补偿空气折射率的测量原理、方法及装置 ,分析了该方法对测量误差产生的原因。最后对测量精度作出了估计。
Measurement and compensation of air refractive index play a “bottleneck” role in high-precision laser interferometry. The compensation principle of air refractive index is analyzed. The measuring principle, method and device for measuring and compensating the refractive index of air with pre-evacuated vacuum chamber are studied. The causes of measurement error are analyzed. Finally, the measurement accuracy is estimated.
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