The Reactive Sputterred Titanium Carbide/Niride and DLC Coatings

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【摘要】

：

ＴｈｅＲｅａｃｔｉｖｅＳｐｕｔｅｒｒｅｄＴｉｔａｎｉｕｍＣａｒｂｉｄｅ／ＮｉｒｉｄｅａｎｄＤＬＣＣｏａｔｉｎｇｓＪ．Ｇ．ＤｅｎｇＭａｎｕｅｌＢｒａｕｎ（ＲｏｙａｌＩｎｓｔ．ｏｆＴｅｃｈｎｏｌ．，Ｐｈｙｓ．Ｄｅｐｔ．Ｆｒｅｓｃａｔｉｖ¨ａｇａｎ２４，Ｓ... TheReactiveSputerredTitaniumCarbide / NirideandDLCCoatingsJ. G. Deng Manuel Braun (Royal Inst. Of Technol., Phys. Dept. Fresc

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

1997年04期

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