【摘 要】
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SL4 73G划片机是用于 30 0mm圆片的激光划片装置。根据用途不同 ,可选用软划片专用型和硬划片专用型。本划片机特点如下 :( 1)软划片专用型特点 :1)本机采用高稳定LD激励Nd :YLF激光器的
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SL4 73G划片机是用于 30 0mm圆片的激光划片装置。根据用途不同 ,可选用软划片专用型和硬划片专用型。本划片机特点如下 :( 1)软划片专用型特点 :1)本机采用高稳定LD激励Nd :YLF激光器的SHG光 ( 0 52 μm) ,标准搭载激光功率自控功能 ,近而实现了加工深度的
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