【摘 要】
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本文介绍一种微机化的X射线双晶衍射仪,不但可用于近完整晶体中微小畸变,点阵错配及晶片弯曲等的测量,而且可以作定点定时的强度记录和扫描,以提高信噪比,并使曲线数据化。经
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,
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本文介绍一种微机化的X射线双晶衍射仪,不但可用于近完整晶体中微小畸变,点阵错配及晶片弯曲等的测量,而且可以作定点定时的强度记录和扫描,以提高信噪比,并使曲线数据化。经微机化后的X射线双晶衍射仪可以对超晶格材料以及离子注入材料作细致的分析。
In this paper, a computerized X-ray double crystal diffractometer is introduced, which can not only be used for the measurement of tiny distortion, lattice mismatch and wafer bending in nearly complete crystals, but also for the intensity recording and scanning of fixed-point timing to improve the signal-noise Than, and make the curve data. After computerized X-ray double crystal diffractometer can superlattice materials and ion implantation materials for detailed analysis.
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