【摘 要】
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以乙炔为碳源气体,采用微波辅助化学气相沉积法低温合成高纯度的垂直定向碳纳米管阵列。研究了分别以氮气和氩气为载气对碳纳米管阵列形貌结构的影响,并用扫描电子显微镜、透
【机 构】
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深圳清华大学研究院,深圳市特种功能材料重点实验室深圳大学,
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以乙炔为碳源气体,采用微波辅助化学气相沉积法低温合成高纯度的垂直定向碳纳米管阵列。研究了分别以氮气和氩气为载气对碳纳米管阵列形貌结构的影响,并用扫描电子显微镜、透射电镜和拉曼光谱等手段对碳纳米管形貌与结构进行观察和分析。结果表明:以氮气为载气合成的碳纳米管阵列纯度较高,直径分布均匀。并对碳纳米管阵列在微波场下的生长机理进行分析探讨。
Using acetylene as carbon source gas, low-temperature synthesis of high-purity vertical oriented carbon nanotube arrays by microwave-assisted chemical vapor deposition method. The effects of nitrogen and argon on the morphology of carbon nanotube arrays were investigated. The morphology and structure of carbon nanotubes were observed and analyzed by scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM) and Raman spectroscopy. The results show that the carbon nanotube array synthesized with nitrogen as carrier gas has high purity and uniform diameter distribution. The growth mechanism of carbon nanotube arrays under microwave field was analyzed.
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