【摘 要】
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在微机械电容式加速度计中利用静电力反馈使加速度计处于闭环力平衡模式工作，能提高加速度计的线性度。本文阐述了静电力在开环工作模式中的作用，导出了相关的灵敏度公式，报导了
【机 构】
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在微机械电容式加速度计中利用静电力反馈使加速度计处于闭环力平衡模式工作，能提高加速度计的线性度。本文阐述了静电力在开环工作模式中的作用，导出了相关的灵敏度公式，报导了实验结果和成功地将原闭环工作的±１ｇ 量程加速度计直接变为低量程的微机械电容式加速度计的实例，其量程为±０．０１ｇ，线性度优于０－２ ％ 。
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