激光干涉定位动态光刻金属反射光栅尺的研制

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为了适应我国高精度精密机床,大型、重型机床和精密仪器制造等发展的需要,尽快采用世界先进技术——激光定位动态光刻,从而大量地高效率地制造高精度金属反射光栅尺。我们于一九七二年十月,组成了以工人为主体的激光干涉定位动态光刻金属反射光栅尺研制小组,在厂党委和研究所党支部的领导下,认 In order to meet the development needs of China’s high-precision precision machine tools, large-scale, heavy-duty machine tools and precision instruments, as soon as possible, laser cutting dynamic lithography is adopted as soon as possible so as to manufacture a large number of high-precision metal reflection grating scales with high efficiency. In October 1972, we formed a group of workers as the main body of the laser interferometric positioning dynamic lithography metal grating reflection of the development of the factory team under the leadership of the party committee and the Institute Institute, the recognition
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