【摘 要】
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对高浓度注砷硅(双能量注入150 keV、1.05 × 10~(14)cm~(-2)和 60 keV、3.5×10~(15)cm~(-2)的连续Ar~+激光退火进行了研究.实验发现只有在合适的样品预热温度和激光功率的
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所
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对高浓度注砷硅(双能量注入150 keV、1.05 × 10~(14)cm~(-2)和 60 keV、3.5×10~(15)cm~(-2)的连续Ar~+激光退火进行了研究.实验发现只有在合适的样品预热温度和激光功率的条件下才能获得最高的电激活率.过高的预热温度,因亚稳态载流子浓度弛豫现象而使电激活率降低;但过低的预热温度,因需要更大的激光功率而使硅表面产生严重损伤,甚至产生微细裂纹.这种现象在高浓度注锑硅(150keV、10~(16)cm~(-2))样品中同样存在.
A continuous Ar ~ + laser annealing with high concentration of arsenic injection (150 keV, 1.05 × 10 ~ (14) cm ~ (-2) and 60 keV, 3.5 × 10 ~ (15) cm ~ The experimental results show that the highest electrical activation rate can be achieved only with suitable sample preheat temperature and laser power.Overly high preheating temperature causes electrical activation due to metastable carrier concentration relaxation However, if the preheat temperature is too low, the silicon surface will be seriously damaged and fine cracks will be generated due to the need of more laser power.This phenomenon is observed in high concentrations of antimony-doped silicon (150 keV, 10 ~ (16) cm ~ (-2)) also exist in the sample.
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