【摘 要】
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采用了电子束蒸发在Si（100）片沉积了碳化硼（B4C）薄膜,并用傅里叶变换衰减全反射红外光谱（ATR FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）对薄膜样品组分和结构进行分析,以研究在不同基片温度和束流
【机 构】
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四川大学物理与科学技术学院,四川大学辐射物理及技术教育部重点实验室
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采用了电子束蒸发在Si（100）片沉积了碳化硼（B4C）薄膜,并用傅里叶变换衰减全反射红外光谱（ATR FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）对薄膜样品组分和结构进行分析,以研究在不同基片温度和束流下对薄膜结构的影响.分析表明：薄膜中均含有1170 cm-1,1660cm-1两个特征峰,分别对应于碳化硼中正二十面体和三原子链的结构.不同基片温度对薄膜化学结构无影响;而不同束流,形成的结构不同,主要体现在碳化硼的特征结构（三原子链和正二十面体）的形成,随着束流的增大,薄膜中二十面体结构显著增多,B的流失减少
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