【摘 要】
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本文介绍一种淀积形式。这就是:材料在坩埚内汽化,然后它的蒸汽喷出喷嘴,在电子束力的作用下进入高真空。由喷嘴喷出的蒸汽局部地凝聚成簇。这些簇由于电子轰击而电离,并且
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本文介绍一种淀积形式。这就是:材料在坩埚内汽化,然后它的蒸汽喷出喷嘴,在电子束力的作用下进入高真空。由喷嘴喷出的蒸汽局部地凝聚成簇。这些簇由于电子轰击而电离,并且向基片加速。它们的淀积膜显示出良好的附着力和大晶粒尺寸。例如Cu——玻璃、Si——Si等的淀积。
This article describes a form of deposition. That is: the material is vaporized in the crucible, and its steam is sprayed out of the nozzle and into the high vacuum under electron beam force. The steam ejected from the nozzles is locally agglomerated into clusters. These clusters ionize due to electron bombardment and accelerate toward the substrate. Their deposited films show good adhesion and large grain size. Such as Cu-glass, Si-Si, and the like.
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