【摘 要】
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本文研究了高温高浓度扩硼Si在连续CO_2激光辐照后表面薄层电阻随激光功率密度和扫描速度的变化.实验发现,一定功率密度和扫描速度的CO_2激光辐照可使扩硼Si的载流子面密度提
【机 构】
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中国科学院力学研究所,北京大学,北京大学,北京大学
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本文研究了高温高浓度扩硼Si在连续CO_2激光辐照后表面薄层电阻随激光功率密度和扫描速度的变化.实验发现,一定功率密度和扫描速度的CO_2激光辐照可使扩硼Si的载流子面密度提高到原来的一倍半到三倍左右.
In this paper, the changes of surface sheet resistance with the laser power density and scanning speed after continuous CO_2 laser irradiation were studied.The experimental results show that CO_2 laser irradiation with a certain power density and scanning speed can make boron-doped Si Carrier density increased to one and a half to three times the original.
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