【摘 要】
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硅基微流道散热技术可以实现每平方厘米数百瓦的高效散热能力。开发了硅基微流道散热器,实现了600 W/cm2以上的高效散热能力。硅作为半导体材料,会影响微波功率芯片的接地性能。通过对硅基微流道散热器进行整体金属化处理,可使其满足宽带微波收发组件的应用要求。将硅基微流道散热器集成在大功率收发组件中,在2~6 GHz的频率范围内,组件能够正常工作,饱和输出功率大于40 dBm。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十九研究所
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硅基微流道散热技术可以实现每平方厘米数百瓦的高效散热能力。开发了硅基微流道散热器,实现了600 W/cm2以上的高效散热能力。硅作为半导体材料,会影响微波功率芯片的接地性能。通过对硅基微流道散热器进行整体金属化处理,可使其满足宽带微波收发组件的应用要求。将硅基微流道散热器集成在大功率收发组件中,在2~6 GHz的频率范围内,组件能够正常工作,饱和输出功率大于40 dBm。
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