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２００２０３０１８１曝光装置用G２０K型KrF准分子激光器＝露光装置用KrFエキシマレ－ザ“G２０K”犤日犦／中尾清春∥光アライアンス．—２０００，１１（１）．－３７～３８２００２０３０１８２新的真空紫外光源＝新しい真空紫外光源犤日犦／佐佐木亘∥光アライアンス．—
2002030181 G20K type KrF excimer laser for exposure device = KrF Electrolyser-G20K for sun exposure device / Nakatsu Chingchu // Light Arion. -2000,11 (1). -37 ~ 382002030182 New vacuum ultraviolet light source = New し い vacuum ultraviolet light 犤 sundial / Sasaki ∥ light ア ア イ ン suns. -