氢钝化硅表面自然氧化物的生长机理

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiangliang87

【摘要】

：

氢钝化硅表面自然氧化物的生长机理＝ＭｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｔｈｅｇｒｏｗｔｈＯｆｎａｔｖｅｏｘｉｄｅｏｎｈｙｄｒｏｇｏｇｅｎｐａｓｓｉｖａｔｅｄｓｉｌｉｃｏｎｓｕｒｆａｃｅｓ［刊．英］／Ｖａｎ，Ｍ．Ｌ．Ｗ．…ＡｐｐｌＰｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．－１９９４．６４... Hydrogen passivation of silicon surface growth mechanism of natural oxides = MechanismofthegrowthOfnatveoxideonhydrog

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年06期

【关键词】

：

生长机理硅表面极化电极傅里叶变换示踪技术

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