【摘 要】
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为了解决光学工厂低成本高精度检测光学元件厚度的实际问题,采用像散法厚度测量技术搭建了测量系统,并进行了理论分析和实验验证.该系统通过柱面镜引入像散形成长宽比与厚度
【机 构】
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南京信息工程大学大气海洋光学探测重点实验室,南京信息工程大学物理与光电工程学院光电工程系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61605081);江苏省自然科学基金资助项目(BK20150929)
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为了解决光学工厂低成本高精度检测光学元件厚度的实际问题,采用像散法厚度测量技术搭建了测量系统,并进行了理论分析和实验验证.该系统通过柱面镜引入像散形成长宽比与厚度相关的椭圆光斑,基于实时图像处理获得元件厚度,具有较高的测量效率,最后使用商用玻璃平片及平凹透镜进行了测量实验.结果表明,该系统测量不确定度在置信概率95%时小于2μm,中心厚测量范围为25mm,能够满足目前一般加工公差要求;该装置操作简单、精度高、成本低,可用于测量透明及不透明材料,适用范围较广.该装置为企业提供了一种低成本、非接触、高精度的厚
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