【摘 要】
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主要探讨了以氯化钙为吸附剂吸附回收MOCVD尾气中氨气的效果.通过实验,研究了氯化钙状态、氨气分压、初始纯度对氨气吸附比、回收率以及回收纯度的影响.当使用粉末状氯化钙,
【机 构】
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上海正帆科技有限公司,上海201108
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主要探讨了以氯化钙为吸附剂吸附回收MOCVD尾气中氨气的效果.通过实验,研究了氯化钙状态、氨气分压、初始纯度对氨气吸附比、回收率以及回收纯度的影响.当使用粉末状氯化钙,氨气分压大于4bar,初始纯度大于20％时,氨气吸附比达到5.8,回收率达到99.5％以上,回收的纯度到99％以上.测试了氯化钙的吸附寿命,200次吸脱附氨气后吸脱附比只下降4％左右.
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