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介绍了利用新的微结构塑料模压技术实现ＬＩＧＡ微结构与ＣＭＯＳ微电子电路准单片集成方法。
LIGA微结构与微电子电路准单片集成方法
【摘 要】
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介绍了利用新的微结构塑料模压技术实现ＬＩＧＡ微结构与ＣＭＯＳ微电子电路准单片集成方法。
【机 构】
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华东交通大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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1997年3期
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