绝对式直线光栅尺

来源 :现代制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renminjie
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海德汉公司通过高度集成的大窗口ASIC扫描芯片,对光栅尺的两个刻线轨道进行扫描,这使得在反射式扫描中实现了对单场扫描原理的应用,提高了光栅尺的抗污染能力。除了采用新型扫描芯片提高扫描信号质量外,读数头的内部结构也更加紧凑,大大提高了其在测量方向上的整体刚性,测量长度达28040mm,系统精度±5μm,分辨率最小为10nm。
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