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金属铁电半导体场效应晶体管能够用于永久性随机存取存储器,因而铁电薄膜越来越引起人们的兴趣。日本大阪大学的T.Yoshimura等最近报道,在Si衬底上沉积的YMnO<sub>3</sub>铁电薄膜具有滞后效应、电容—电压性质及铁电极化开关特性,当降低存储单元尺寸时,能够节省电源。
YMnO<sub>3</sub>铁电薄膜
【摘 要】
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金属铁电半导体场效应晶体管能够用于永久性随机存取存储器,因而铁电薄膜越来越引起人们的兴趣。日本大阪大学的T.Yoshimura等最近报道,在Si衬底上沉积的YMnO<sub>3</sub>铁
【出 处】
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稀土信息
【发表日期】
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1999年2期
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