【摘 要】
：
阐述了CMP抛光机抛光台的温度控制方法。用有限元软件ANSYS模拟了抛光台和循环水的热交换过程,并且分析循环水的流量和温度对热交换效率的影响,得出循环水流量和温度跟热交换
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
论文部分内容阅读
阐述了CMP抛光机抛光台的温度控制方法。用有限元软件ANSYS模拟了抛光台和循环水的热交换过程,并且分析循环水的流量和温度对热交换效率的影响,得出循环水流量和温度跟热交换效率的关系。根据它们之间的关系,设计了一种CMP抛光机抛光台温度控制系统和方法,通过有限元软件ANSYS模拟了该温度控制系统和方法的控制过程,模拟结果显示该系统和方法不仅控制效率和精度都比较高,而且最终温度也很稳定,能够迅速、精确、稳定的将抛光台表面的温度控制在所设定的温度,很好的满足CMP抛光工艺的要求。
其他文献
进行了水力学模型实验,研究了氧枪供氧量、枪位等因素对转炉熔池的搅拌、喷溅、穿透深度的影响。研究表明:当弗鲁德准数控制在113.1,枪位在0.167m时搅拌均匀时间短,吹炼时喷
对邮政发展电子商务第三方物流的可行性和必要性进行了分析,阐述了邮政发展电子商务第三方物流的意义,并就邮政如何开展电子商务第三方物流提出了一些对策。
中钢集团衡阳重机有限公司承制的国内最大氧气底吹熔炼炉已试车成功，整机运转平稳，各项指标均达到了设计要求。氧气底吹熔炼炉的直径为4．8111、长20m、总重超200t。该机炉壳筒体
目的了解本市公安干警高血脂、高血尿酸及无症状脂肪肝患病情况，探讨其相关影响因素和预防对策。方法对258名男干警的体检资料进行整理分析，了解其身高、体重、总胆固醇（TCHO）、
在北京市密云区十里堡镇统军庄村的春播农庄里,一群年轻的＂农人＂正在大棚里忙碌着。＂我现在管理着三个棚,基本实现了自动化。＂一位＂农人＂对记者说,＂我上大学时就是学农的,来到农庄以
6月15日,战略咨询与综合评审特邀委员会（下简称特邀咨评委）第一次全体会议在北京召开。特邀咨评委主任委员徐匡迪院士主持会议,王大中、方新、李安东、李静海、刘旭、齐让、陈
马克思对唯物史观的“经典表述”是当代关于历史唯物主义所有论争聚讼纷纭的焦点，这就提出了如何理解“经典表述”所概括的历史唯物主义基本原理的普遍性及由它们所构成的理论
周期性麻痹是一种呈周期性发作的迟缓性瘫痪，以两下肢多见，每次发作均为突然发病，多伴有血清钾降低。现将我院2000年至2006年住院的40例低钾型周期性麻痹病例报道如下。
目的观察吲达帕胺治疗Ⅰ、Ⅱ级老年单纯收缩期高血压的临床疗效和安全性。方法、采用自身前后对照的方法治疗Ⅰ、Ⅱ级老年单纯收缩期高血压38例，吲达帕胺2．5mg／d，每日清晨8时服药
金海湖位于北京城东85公里处,水域面积6.5平方公里,是北京地区玩水面积最大的综合水上娱乐场所,现为市级风景名胜区和市级旅游度假区。金海湖三面环山,峰峦叠
Jinhai Lake