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柔性测量臂测头半径补偿的精度对系统精度具有重要影响。本文在分析半径补偿基本原理的基础上，提出了一种基于测量特征分类的半径补偿算法。该算法首先把测量特征分为点、线、面3种基本特征（其中面特征又分为二次曲面和自由曲面），然后建立各种特征的参数方程，利用测量得到的少量特征点，采用最小二乘法拟合得到被测特征的参数，最后根据被测特征参数进行高精度半径补偿。试验结果表明本文方法确实可行，具有较高的测量精度和较好的实用性。