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常规变压吸附装置(N2:98.5%~99.9%)制取的氮气存在两个问题:一是在一个吸附周期内随着吸附量的增加,氮气中氧含量增加(氮气纯度下降);二是在两个吸附塔交替工作之间有较大的压力波动。以上两个缺欠的存在,就决定了使用目前通用的加氢脱氧技术路线是不能够净化出高纯氮气的(氢气含量严重超标)。介绍了一种净化工艺方法以及专用的双功能脱氧催化剂和脱氧干燥剂,可以将常规变压吸附装置制取的氮气净化到高纯氮气标准。