【摘 要】
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采用MPCVD法在钼基体上制备金刚石厚膜,测量了等离子体发射光谱,并利用XPS、Raman和SEM对金刚石厚膜进行表征。研究了Mo原子进入金刚石中的机制及其对金刚石厚膜的影响。结果
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院、武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（10875093）
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采用MPCVD法在钼基体上制备金刚石厚膜,测量了等离子体发射光谱,并利用XPS、Raman和SEM对金刚石厚膜进行表征。研究了Mo原子进入金刚石中的机制及其对金刚石厚膜的影响。结果表明：除了热扩散,Mo原子还会以蒸发进入等离子体的方式进入金刚石。金刚石中的Mo原子是以Mo＋4、Mo＋6以及介于Mo^＋4-Mo^＋6之间的化合态存在。在沿成核面到生长面的方向上,sp2C的含量会逐渐减小;成核面的内应力表现为较小的拉应力,随着生长进入连续膜生长阶段,内应力转变为压应力并随膜厚度增加压应力大小逐渐降低,在距离成
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