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【摘 要】
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为了深入研究氮化镓薄膜的压电效应和机械特性,基于气体直接吸收红外辐射的原理,将基于氮化镓悬空隔膜的充气微腔红外传感器项目作为背景,以氮化镓/铝镓氮薄膜作为敏感单元,
【机 构】
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北京工业大学北京光电子技术实验室,电子科技大学中山学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2016年6期
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