大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lau_lfm
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大气等离子体加工反应过程中,等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响,CF4是化学反应中活性F^*原子的提供者,O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反应过程的影响规律,采用大气等离子体加工系统进行加工、光谱仪监控等离子体反应过程的活性F^*原子的光谱变化。实验结果表明,在大气压等离子体加工系统中:热稳定后,活性F^*原子强度基本不随时间变化;随着CF4含量的增加,F^*原子谱线轮廓发生了自吸收现象,这说明采用光谱法研究CF4含量对活性F^*原子含量的影响是不完全准确的;由于O2易和
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