无机光致抗蚀剂

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一、硫硒碲化合物材料的特点元素周期表上以硒、碲为代表的ⅥB的硫硒碲化合物是与石英系玻璃并列的无机玻璃的代表.它们在热力学上具有清晰的玻璃转变点,在玻璃转变点以下是非平衡的,而且具有多余的内能和熵.它基本上是二配位的原子链或环状排列. First, the characteristics of sulfur-selenium tellurium compound material The selenium, tellurium represented by selenium, tellurium VIB sulfur selenium tellurium compound is representative of quartz glass and inorganic glass side by side in the thermodynamics with a clear glass transition point in the Below the glass transition point is unbalanced and has excess internal energy and entropy, which is essentially a two-coordinate atomic chain or ring arrangement.
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