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介绍两种结构形式手基于电子隧道效应的纳米级三维轮廓仪，其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨可达０．２ｎｍ，扫描范围分别为４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ。可直接对Φ５０ｍｍ和Φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行纳米级的超微观形貌检测与分析。
隧道式纳米级轮廓仪的研究
【摘 要】
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介绍两种结构形式手基于电子隧道效应的纳米级三维轮廓仪，其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨可达０．２ｎｍ，扫描范围分别为４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ。可直接对Φ５０ｍｍ和Φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行纳米级的
【机 构】
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华中理工大学,武汉喻家山华中理工大学机械科学与工程学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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1996年12期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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