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随着晶体生长理论和生长技术的发展,各种高纯度的晶体已经生产出来.这给晶体管的研制创造了便利条件,同时,也对生长设备的要求提出更加严格的要求.论述单晶炉炉内压力的控制;通过调节比例阀的开度起到改变抽气的速率;从而达到调节炉内压力的目的;实现了理想的压力控制.
大型单晶炉炉内压力的控制研究
【摘 要】
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随着晶体生长理论和生长技术的发展,各种高纯度的晶体已经生产出来.这给晶体管的研制创造了便利条件,同时,也对生长设备的要求提出更加严格的要求.论述单晶炉炉内压力的控制;
【机 构】
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西安理工晶体科技有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年期
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