衍射微透镜列阵在Shack—Hartmann波前传感器中的应用

来源 :光子学报 | 被引量 : 5次 | 上传用户：litao343243581

【摘要】

：

菲涅耳衍射微透镜列阵是目前广泛应用的衍射光学元件之一,它是基于衍射原理,由计算机设计,并通过微细加工技术制作成的.本文介绍了8相位台阶菲涅耳衍射微透镜列阵的制作方法,并描述了一个用16×16微透镜列阵形成的小型 Shack-Hartmann 波前传感实验系统,用该系统可对入射波前进行测量和重建.

【作者】

：

杜春雷林大健周明宝郭履容郭永康

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所,四川大学信息光学研究所

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

1996年08期

【关键词】

：

微透镜列阵衍射光学元件波前传感器 Microlens arrayDiffraetional optical elementShack-Hartmann wa

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