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<正> 近年来,利用离子束作为改变材料表面性能的有效方法,引起了人们极大兴趣。按照离子能量的大小,离子束处理可分成两大类:(1)用于离子注入的高能离子束(10～500keV),能穿透几百个原子层进入材料,并改变材料表面的力学和化学性能;(2)用于离子束溅射,离子镀和等离子体离子沉积的
离子束在工业材料中的应用
【摘 要】
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<正> 近年来,利用离子束作为改变材料表面性能的有效方法,引起了人们极大兴趣。按照离子能量的大小,离子束处理可分成两大类:(1)用于离子注入的高能离子束(10～500keV),能穿透
【机 构】
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东北工学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1990年1期
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