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光学显微检测在半导体探测器研制的多个环节具有重要意义。利用较低价单元、部件组装了一套数字影像光学显微系统，性能与国外中档产品相当，性价比卓越。该系统拥有微机控制的高清晰数字摄影装置，配置大屏幕监视器，搭载高倍干系物镜，分辨率达到0．2μm，可以进行明暗场、偏光、干涉观测。它可以方便的用于缺陷、沾污控制，图形检测，表面光洁度检验，材料鉴定等方面，还可用于测试、封装、修理等精细操作。通过观察焊点的表面形貌，钎料合金的显微结构，可以鉴定焊点质量。如果结合多光束干涉技术可用于表面起伏的精细测量。论文叙述了该系统在