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SF6气体由于具有优越的绝缘性和稳定性,而被广泛地应用于高压电器设备中。文中所研制的SF6气体净化处理系统,组合使用了变压吸附、空气分离、机械制冷式深冷分离等多种净化处理方式,满足了处理后SF6气体符合GB/T 1202《工业六氟化硫》的技术指标要求,而且可使处理后SF6气体的质量分数达到99.98%以上,实现了SF6气体的循环再利用。