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采用磁控溅射法在蓝宝石基底上制备金属钒薄膜，然后在O2中快速热处理获得具有相变特性的VOx薄膜。实验对比了不同的热处理温度和热处理时间对薄膜性能的影响，薄膜的结晶状况用x射线衍射（XRD）进行分析；利用THz时域频谱系统，观测薄膜在不同激励光功率下的相变特性及其对THZ波的调制作用。结果表明，在570℃条件下快速热处理60S所制得的V0。薄膜性能最佳，薄膜对THz波透过性最好，光激励后对THz波的调制作用最大，调制幅度达到83．9％，且引发相变的功率阈值低。