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<正> 薄膜传感器是一种新型的传感器。薄膜传感器具有如下优点:①耐振动,结构稳定,噪声小;②体积小,耗材少;③灵敏度高,精度高,响应快。相对于块状物质,由于处于薄膜形态的物质具有许多独特的性质,因而薄膜器件已成为现代科学技术领域中不可缺少的器件。薄膜传感器敏感薄膜的制备技术近年来发展很快,在传感技术中独树一帜。目前国内外敏感薄膜制备方法主要有物理方法、化学方法、生物学方法三类方法,下面就几种典