【摘 要】
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磁控溅射颗粒表面涂层技术相对于流化床CVD工艺来说,在安全、环保、杂质含量控制方面具有较大优势。本文分析了磁控溅射颗粒涂层技术的基本原理、面临的问题与挑战,介绍了国
【机 构】
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中国核动力研究设计院四所核燃料及材料国家重点实验室,
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磁控溅射颗粒表面涂层技术相对于流化床CVD工艺来说,在安全、环保、杂质含量控制方面具有较大优势。本文分析了磁控溅射颗粒涂层技术的基本原理、面临的问题与挑战,介绍了国内外磁控溅射颗粒涂层技术的发展现状,为颗粒物料表面磁控溅射涂层技术研究提供参考。
Magnetron sputtering particle surface coating technology relative to the fluidized bed CVD process, in the safety, environmental protection, impurity content control has greater advantages. In this paper, the basic principle, problems and challenges of magnetron sputtering particle coating technology are analyzed. The development of magnetron sputtering particle coating technology at home and abroad is introduced, and the research of magnetron sputtering coating technology on the surface of particle materials is provided reference.
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