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以实际应用为例，阐述了等离子清洗技术工作机理及优势特点，在洁净度要求很高的光电阴极辅件处理中等离子清洗技术的应用研究。
等离子清洗在光电阴极辅件处理中的应用研究
【摘 要】
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以实际应用为例，阐述了等离子清洗技术工作机理及优势特点，在洁净度要求很高的光电阴极辅件处理中等离子清洗技术的应用研究。
【机 构】
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北方夜视技术股份有限公司
【出 处】
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云光技术
【发表日期】
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2013年1期
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