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在1000℃高温下,经多次N+注入硅形成了晶态α-si_3N_4省去了常规SOI技术中的高温长时间热退火工艺。这对于简化工艺步骤、降低工艺温度和缩短工艺时间有实际意义。
高温多次N^＋注入硅形成晶态α—Si3N4研究
【摘 要】
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在1000℃高温下,经多次N+注入硅形成了晶态α-si_3N_4省去了常规SOI技术中的高温长时间热退火工艺。这对于简化工艺步骤、降低工艺温度和缩短工艺时间有实际意义。
【机 构】
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中国科学院上海冶金所离子束开放研究实验室上海200050
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1992年8期
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