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来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
以ANSYS软件的有限元分析为依据对变形反射镜结构模型进行研究,探讨各主要结构参数及驱动电压对变形位移的影响.考虑静电驱动力、张力和空气阻尼衰减对变形镜回复过程的影响,
【作 者】
:
闫金良
【机 构】
:
烟台师范学院物理系
【出 处】
:
强激光与粒子束
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
自适应光学
变形镜
微电子机械系统
薄膜
静电驱动
Electrostatic actuatorsFinite element methodMicroelect
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