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基于正交设计,使用Tek-15 kW感应耦合等离子球化设备对工业用钨粉进行球化。选择设备功率、送粉速率、主气流量作为主要工艺参数。使用SEM分析球化后的钨粉,最终确定最优的参数为功率13 kW,送粉速率16 g/min,主气流量5 mL/min。在最优工艺参数下球化制粉,可以得到钨粉球化率接近100%,产品回收率为92.6%。