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选取目前最常用的RCA清洗法和NCW清洗法分别对同批次加工的砷化镓抛光片进行清洗，使用X射线光电子谱对晶片表面杂质成分进行测试，对表面颗粒、有机物和金属3种杂质类型进行量化对比，分析两种清洗方法对3种杂质的去除能力。结果显示：表面活性剂对于有机物的去除效果比乙醇略强。基于双氧水的强氧化性和砷、镓氧化物更易溶于氨水的特性，SC-2清洗液对于表面氧化层的剥离和去除强于表面活性剂。对于主要金属杂质，两种清洗方法的去除能力相当。