离子探针质谱微分析仪及其应用

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一、前言在科研和生产工作中证明:固体表面或晶体界面在各类科研生产领域内具有极其重要作用,而表面或界面内的杂质含量、分布和缺陷对其原有性能影响极大。例如,金属材料的腐蚀、半导体薄膜和磁性材料薄膜的表面现象、催化剂表面的特有性能等,都与其杂质含量和分布有关。近年来随着材料科学,特别是表面 First, the preface In scientific research and production work proved: solid surface or crystal interface in various fields of scientific research and production has an extremely important role, and the surface or interface impurities, distribution and defects of its original performance greatly affected. For example, the corrosion of metallic materials, the surface phenomena of semiconductor films and magnetic thin films, and the unique properties of catalyst surfaces are all related to their impurity content and distribution. In recent years with the material science, especially the surface
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