【摘 要】
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在集成电路的设计过程中,半导体芯片的工艺流程需要将晶体管体积逐步缩小,来为集成度越来越高的半导体制造工艺服务.特别是在电路制造技术发展快速的今天,各厂商对电路的要求
【机 构】
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西安电力电子技术研究所元件部 710077
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在集成电路的设计过程中,半导体芯片的工艺流程需要将晶体管体积逐步缩小,来为集成度越来越高的半导体制造工艺服务.特别是在电路制造技术发展快速的今天,各厂商对电路的要求也在不断提升,要求集成电路要以足够小的体积来承载较多的元件.本文从半导体芯片的工艺节点演变路进入手进行分析,并介绍晶体管演变的发展历程.
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