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阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进行了探究.设备投产后显著降低了失误率,提高了生产效率,减少了人工成本,得到客户的一致好评.
基于PLC控制的YAMAHA机器人手臂晶圆去边工艺研究
【摘 要】
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阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进行了探究.设备投产后显著降低了失误率,提高
【机 构】
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中电科风华信息装备股份有限公司
【出 处】
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机械管理开发
【发表日期】
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2020年11期
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