论文部分内容阅读
本文用XRD,RHEED和SEM对LPCVD掺氧多晶硅的结晶学性质进行了研究.结果表明,对于含氧量为8～37at%预淀积SIPOS薄膜其结构呈无定形.当进行高温热退火(T_a≥900℃)时,薄膜经历了一个再结晶过程.晶粒度的大小与退火条件有关;而修氧多晶硅中的含氧量对再结晶过程具有抑制作用.
掺氧多晶硅（SIPOS）薄膜结晶学性质研究
【摘 要】
：
本文用XRD,RHEED和SEM对LPCVD掺氧多晶硅的结晶学性质进行了研究.结果表明,对于含氧量为8～37at%预淀积SIPOS薄膜其结构呈无定形.当进行高温热退火(T_a≥900℃)时,薄膜经历了一
【机 构】
：
上海科技大学分部技术物理系,华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
：
固体电子学研究与进展
【发表日期】
：
1990年4期
其他文献
本文叙述了灵敏度分析的重要意义。介绍了所用的MESFET模型与三个子程序DATA,MODEL,SPARAM及主程序SENSIT,并给出计算分析结果。结果表明,对MESFET芯片S参数影响最大的几个工
与上一代工程师相比，今天的硬件开发工程师需要用更高的带宽跟上存储器和处理器技术的进步；用更多的通道观察用以控制系统的所有信号；以及为捕获串行数据而具备跨宽时间范围的持
近些年来,随着绿色低碳理念越来越受到人们的重视,各相关行业也都提高了低碳环保意识,建筑行业同样需要重视低碳理念下的建筑装饰装修管理,提高目前建筑装饰装修行业当中的绿
随着科技的不断进步,电子通信工程也在飞速发展着,人们对网络通讯的需求越来越高,对其设计与品质的需求也逐步提高。但是,在电子通信工程中依然存在一些问题,为了能够满足人
<正>GeSi/Si异质结构材料因其物理特性及其与硅平面工艺的相容性,是制备一系列高频、高速、低温器件的新型半导体材料,可用于通讯、雷达、遥感、计算机、低温电子学等领域。
知道玉茹老师，不是看戏，因为那时她已经不被允许演戏。记得1966年8月的一个夜晚，中学的操场上火光冲天，子夜，在一大堆被烧毁的旧书报的灰烬里飘出一张残片，是《新民晚报》副刊上登
第八届优秀儿童剧展演活动自3月27日在闵行城市剧院开幕以来，历时两个多月，共计有北京、山东、黑龙江、江苏、湖北、安徽和上海七个省市的9台剧目、4台历届参演的优秀儿童剧的
高职建筑工程计量与计价课程是一门专业核心课程,具有很强的政策性、综合性、技术性和专业性。应推动该课程的教学改革,根据该课程的特点,创新教学模式、完善教学内容、丰富