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设计了一种差动电容式位移传感器,它可对微小位移进行测量。设计了传感器的机械框架以及信号处理电路,主要包括正弦激励电路、转换桥路、信号放大电路、精密整流电路和滤波电路。对传感器的工作原理进行了分析,对电路参数进行了计算。该传感器结构简单、使用方便、成本低。实验结果表明测量范围为0~0.6 mm,具有很好的线性度。