【摘 要】
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本文论述了影响圆光栅检查仪测量准确度的诸种因素,指出提高仪器测量准确度的根本途径,提出一种新型油润滑球体结构主轴系,介绍了利用圆光栅作基准、运用多头平均法获得高精
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本文论述了影响圆光栅检查仪测量准确度的诸种因素,指出提高仪器测量准确度的根本途径,提出一种新型油润滑球体结构主轴系,介绍了利用圆光栅作基准、运用多头平均法获得高精度基准器的具体方法。
This paper discusses various factors that affect the accuracy of the circular grating inspection instrument, points out the fundamental way to improve the accuracy of the instrument measurement, and proposes a new type of oil lubrication ball structure spindle system. The introduction of the use of circular grating as a benchmark, the use of multi-head averaging High-precision reference to the specific method.
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