【摘 要】
：
采用摩尔分数为7%的Y2O3掺杂的ZrO2混合烧结料为原料,在不同的氧分压和沉积速率下用电子柬蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锫(YSZ)薄膜样品.利用ZYGO Mark Ⅲ-GPI数字波面干涉仪
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
采用摩尔分数为7%的Y2O3掺杂的ZrO2混合烧结料为原料,在不同的氧分压和沉积速率下用电子柬蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锫(YSZ)薄膜样品.利用ZYGO Mark Ⅲ-GPI数字波面干涉仪对YSZ薄膜的残余应力进行了研究,讨论了氧分压和沉积速率等工艺参量对残余应力的影响.实验结果表明,不同氧分压和沉积速率下,YSZ薄膜的残余应力均为张应力;应力值随氧分压的升高先增大后减小,随沉积速率的增加单调增加.热应力对薄膜所呈现的张应力性质起着决定性作用,同时应力值的大小受本征应力和附加应力的影响.通过对样品的X射线衍射(XRD)测试,结合薄膜微结构的变化,对应力的形成原因进行了解释.
其他文献
在常温下,通过溶剂置换法制备了[Ni(qina)2(H2O)2]52DMSO单晶,其中qina-为喹哪啶酸根,DMSO为二甲亚砜.配合物属于单斜晶系,C2/m空间群.2个qina-配体以氮原子和氧原子与Ni(Ⅱ)
利用化学气相淀积(CVD)的方法在AlN/Si(111)复合衬底上成功实现了4H-SiC薄膜的异质外延生长,用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、阴极荧光(CL)等方法对所得样品的结构特
基于异质材料的有效介电常数理沦,仿真了二维亚波长银粒子/孔的等效复介电常数,证实了亚波长金属银粒子/孔的光谐振特性.对于在介质内放咒银粒子的模型,当光频率高于银的等离
在千焦耳拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注.利用经光学微纳超精细加工而成的电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的
全光缓存器是未来全光网络中不可或缺的关键器件。针对可控光延迟和光存储的应用需求,研究了光子晶体波导中慢光传输的外部动态调制。设计了一种新型的聚合物光子晶体波导结
为降低溅射过程中摹片温度的上升,进而成功制备非晶多孔、纳米微晶态电致变色薄膜和非晶态离子导电薄膜,介绍了一种配置于磁控溅射设备的液氮冷却装置.利用该装置制备了由WO3
以钨酸钠为钨源,采用水热法在不同pH值条件下制备纳米WO3粉体,通过XRD、SEM、BET等分析手段对产物的晶型结构、形貌和比表面积进行了表征,并利用紫外-可见光漫反射吸收光谱仪
在过云的几十年里,以Mo(W)Cu/S簇合物为前驱物进行含簇配位聚合物的自组装一直让化学工作者对此怀有浓厚的兴趣.[1-6]
合成、表征了新型Bronsted-Lewis酸性离子液体1-(3-磺酸)-丙基-3-甲基咪唑氯锌酸盐([HO3S-(CH2)3-mim]Cl-ZnCl2),并将其用于催化松香二聚反应.结果表明,[HO3S-(CH2)3-mim]Cl-