MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

• 作 者: 陈俊光 谷专元 何春华 黄钦文 来萍 恩云飞
• 机 构: 工业和信息化部电子第五研究所,广东工业大学自动化学院,华南理工大学电子与信息学院
• 出 处: 传感器与微系统
• 发表日期: 2017年03期
• 关键词: 微机电系统(MEMS)惯性器件 可靠性 失效模式 失效机理

针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入分析和总结,研究结果有利于指导未来MEMS惯性器件的失效分析和可靠性设计。