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采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆膜方法,得到高选择性SnO2半导体NH3敏感元件,并对元件的特性和机理进行了分析.
表面修饰提高SnO2氨气敏元件选择性的研究
【摘 要】
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采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆膜方法,得到高选择性SnO2半导体NH3敏感元件,并对元件的特性和机理进行了分析.
【机 构】
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玉溪师专物理系,讲师,云南玉溪,653100云南大学佐波传感技术研究中心,硕士,昆明,650091;云南大学佐波传感技术研究中心,硕士生导师、教授,昆明,650091;
【出 处】
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思茅师范高等专科学校学报
【发表日期】
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1999年4期
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